Cours 2020-2021

Synthèse des matériaux [SPHYM222]

  • 3 crédits
  • 30h
  • 1er quadrimestre
Langue d'enseignement: Français

Acquis d'apprentissage

L'objectif de ce cours est de donner à l'étudiant les bases nécessaires pour choisir une méthode appropriée pour la préparation d'un film mince par technique sous vide, la mettre en oeuvre, et comprendre les mécanismes physiques sous-jacents.

Le contenu comporte des matières liées à la nucléation et la synthèse de films minces déposés par techniques sous vide: évaporation, plasma, ...

 

Contenu

Le contenu est adapté en fonction des besoins des étudiants pour leur mémoire de master. A titre d'exemple, il peut inclure:

Rappels sur la théorie cinétique des gaz. Evaporation: modèle de Knudsen, types d'évaporateurs, considérations techniques. Mesure de l'épaisseur d'un film mince. Croissance épitaxique, modes de croissance, contraintes et déformations, épaisseur critique. Epitaxie par jets moléculaires (principe, caractérisation en temps réel et a posteriori, épitaxie sur silicium) Introduction élémentaire à la CVD Pulvérisation cathodique DC et RF, techniques de diagnostique plasma, simulation numérique de la croissance de films minces.

Description des exercices

Quelques exercises seront à solutionner en utilisant le code de simulation Monte-Carlo NASCAM développé par le groupe de S. Lucas

Disciplines

Physique

Méthodes d'enseignement

Les modalités d'enseignement et d'évaluation des unités d'enseignement ont été rédigées en fonction de la situation à la rentrée académique 2020-2021. Cependant, ces modalités pourraient faire l'objet de modifications en fonction de l'évolution de la crise sanitaire liée à la covid-19. Les étudiants seront informés de toute modification de la situation générale (passage à l'enseignement à distance partiel ou complet) par les autorités de l'UNamur tandis que les modifications propres à chaque unité d'enseignement leur seront communiquées par les enseignants, via webcampus

Une combinaison entre cours magistral, lectures personnelles, visites de laboratoires, exercices, etc.

Mode d'évaluation

Les modalités d'enseignement et d'évaluation des unités d'enseignement ont été rédigées en fonction de la situation à la rentrée académique 2020-2021. Cependant, ces modalités pourraient faire l'objet de modifications en fonction de l'évolution de la crise sanitaire liée à la covid-19. Les étudiants seront informés de toute modification de la situation générale (passage à l'enseignement à distance partiel ou complet) par les autorités de l'UNamur tandis que les modifications propres à chaque unité d'enseignement leur seront communiquées par les enseignants, via webcampus

Travail personnel, se rapportant à un sujet développé au cours. Le travail doit démontrer une compréhension approfondie du sujet traîté.

Sources, références et supports éventuels

La litérature scientifique dans le domaine.

Langue d'enseignement

Français

Lieu de l'activité

NAMUR

Faculté organisatrice

Faculté des sciences
Rue de Bruxelles, 61
5000 NAMUR

Cycle

Etudes de 2ème cycle